Компактная однокамерная установка K2
Описание
Технические характеристики
Размеры: 795 x 550 x 450 мм
Материал камеры: нержавеющая сталь
Перемещение по оси: 560 мм
Вакуум: 4 x 10 -6 Torr
безмасляная откачка
Электронно-лучевое оборудование: 60 кВ, 6 кВт, слайдерная система электронно-лучевой пушки с ходом 250 мм
Ориентация: внешняя, вертикальная
Оснастка: горизонтальная и вертикальная поворотные оси
Все приводы установлены снаружи для обеспечения минимального времени разгрузки.