Небольшая однокамерная установка K7
Описание
Технические характеристики
Размеры: 900 x 900 x 900 мм
Материал камеры: нержавеющая сталь
Перемещение по оси X: 400мм
Вакуум: 7 x 10 -6 Torr
Электронно-лучевое оборудование: 60 кВ, 6 кВт, слайдерная система электронно-лучевой пушки с ходом 250 мм
Ориентация: внешняя, вертикальная
Оснастка: поворотное устройство (360°)