Описание

Технические характеристики

Размеры: 1300 x 900 x 900 мм

Материал камеры: нержавеющая сталь

Перемещение по X-Y: 600 x 400 мм

Вакуум: <9,7 x 10 -6 Torr 

Электронно-лучевое оборудование: 60 кВ, 15 Вт

Ориентация: внешняя, вертикальная

Оснастка: многопозиционные паллеты

Особенность: динамическое ЗУ

В автоматизированном ЗУ заложено большое число разнообразных индивидуальных установок, обеспечивающих быстрый доступ и смену инструментов.