Описание

Технические характеристики

Размеры: 2750 x 2200 x 2200мм

Перемещение стола по X-Y: 1400 x 1500мм

Вакуум:  1 x 10 -6 Torr

Электронно-лучевое оборудование: 150кВ, 15кВт

Ориентация: внешняя, вертикальная

Оснастка: поворотное наклонное устройство (360°, 90°)