Однокамерная установка K140
Описание
Технические характеристики
Размеры: 3400 x 1800 x 2100мм
Материал камеры: конструкционная сталь
Перемещение стола по X-Y: 1450 x 700мм
Вакуум: 1 x 10 -6 Torr
Электронно-лучевое оборудование: 80кВ, 30кВт
Ориентация: внешняя, вертикальная
Оснастка: поворотное устройство (горизонтально и вертикально), удлинения для нескольких поворотных устройств (360°)
Вид спереди установки с поворотным устройством и выдвижной частью для вращения деталей. В эту часть встроена задняя бабка.