Описание

Технические характеристики

Размеры: 6000 x 1500 x 1975мм

Материал камеры: конструкционная сталь

Перемещение стола по X-Y: 2650 x 320мм

Вакуум: 2 x 10 -6 Torr

                 водно-паровая криогенная ловушка

Электронно-лучевое оборудование:  два 80кВ, 40кВт

Ориентация: внешняя, вертикальная и горизонтальная

Оснастка: поворотное  устройство (360°)