Описание

Технические характеристики

Размеры: 1700 x 1670 x 1100 мм

Материал камеры: конструкционная сталь

Перемещение по X-Y: 800 x 800 мм

Вакуум: 7 x 10 -6 Torr

                водная криогенная ловушка

Электронно-лучевое оборудование: 80 кВ, 15 кВт

Ориентация: внешняя, вертикальная, устройство скольжения 600 мм

Оснастка: множественная

Особенность: две зоны загрузки