Описание

Технические характеристики

Размеры: 2200 x 1500 x 1800мм

Материал камеры: конструкционная сталь

Перемещение стола X-Y: 1000 x 900мм

Вакуум: 3.99 x 10 -6 Torr

                водно-паровая криогенная ловушка

Электронно-лучевое оборудование: 60 кВ, 15 кВт

Ориентация: внешняя, вертикальная

Оснастка: поворотное, наклонное и подъемное устройство (360°, 90°, 300мм)