Описание

Технические характеристики

Размеры: 5300 x 4000 x 3000 мм

Материал камеры: конструкционная сталь

Перемещение стола по X-Y: 2000 x 2100 мм

Вакуум: 7 x 10 -6 Torr
                водно-паровая криогенная ловушка

Электронно-лучевое оборудование: 150кВ, 30кВт

Ориентация: внешняя, вертикальная

                скользящее устройство 600 мм

Оснастка: поворотное, наклонное и подъемное устройство (360°, -10°, -95°, 600 мм)